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電子半導體廢氣治理方案

發布日期:2022-12-16瀏覽次數:7075

  電子半導體廢氣治理方案


  電子廠半導體筒式沸石轉輪技術,在實際設計中,需要加洗滌塔作為預處理裝置,來攔截粉塵和易溶性的酸堿廢氣。


  半導體行業廢氣排放具有排氣量大、排放濃度小的特點。


  半導體制造工藝產生的揮發性有機廢氣,主要來源于光刻、顯影、刻蝕及擴散等工序,與半導體制造工藝相比,半導體封裝工藝產生的有機廢氣較為簡單,主要為晶粒粘貼、封膠后烘烤過程產生的烘烤廢氣


  針對電子廠半導體行業有機廢氣和毒性氣體的治理,筒式沸石轉輪廢氣處理技術的凈化原理是:


  將普通的220V/380V交流電通過變壓器,變頻器轉換為高頻高壓的電壓,產生足以擊穿氣體的電壓,釋放出高能電子,高能電子破壞有機廢氣中的氣體分子之間的化學鍵,斷開這些化學鍵從而產生了各種碳原子、氧原子、氫原子、氫氧自由基、臭氧等混合體,等離子體中的氧原子和碳原子結合形成二氧化碳,氧原子和氫原子結合形成水分子,終產生排放到大氣中的氣體為無污染的二氧化碳(CO2)和水(H2O)。

電子半導體企業廢氣沸石轉輪廢氣處理工藝

  我公司定制的半導體有機廢氣處理系統方案,VOCs排放濃度符合當地的排放標準,在半導體行業中該系統設備更科學、更安全、高效率的解決廢氣問題,性價比更高,且無二次污染。

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